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采购真空镀膜机,要考虑哪些方面的问题?

2020-07-14

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      有些商家采购镀膜机时,总是会碰到各种各样的问题,无从下手,不知道哪款、哪家真空镀膜机适合自己,毕竟真空镀膜机采购费用不是个小数目,少则几十万,大则上百万,上千万。因此,商家采购真空镀膜机时还是非常的谨慎和理性。那么商家在采购真空镀膜机的时候,应该要考虑哪些问题呢,小面汇成真空小编为大家详细列举出来。


真空镀膜机



     (1)根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备,其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
     (2)真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。
     (3)夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式,用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。
     (4)根据工艺要求选择镀制方式及形式,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控源(同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材质及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直径靶材,气动、电动的引弧等),真空测量可选择数字式智能真空计及其优质的测量规管,及其它测量仪器,如自动压强控制仪等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪,透过率计等。
     (5)炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
     (6)完善的报警系统,对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。