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太阳能玻璃溅射的磁控溅射真空镀膜机

2021-01-09

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       太阳能玻璃集热管的磁控溅射真空镀膜机它包括真空容器、转架统、磁控溅射靶、真空获得系统及电源、电控和真空测量等。真空容器是实现对玻璃管进行涂镀的作业室。真空镀膜机磁控溅射靶、转架系统、真空测量及配气系统都与真空容器紧密相连。真空镀膜机磁控溅射靶安放在真空容器底板的正中央,靶的周围是固定玻璃管的转架系统,一次可以放置30支φ58mm管径的玻璃管,转架系统的周围即容器内壁安装有配气系统的充气管道,它是为了保证整个容器内气氛的均匀性分布而精心设计配置的;真空室容器后侧是与真空抽气系统相连接的抽气口。


真空镀膜机


       真空镀膜机真空容器内腔尺寸是φ900mm X 2500(h)mm,可为1500~2000mm长的各种玻璃管镀制太阳能吸热膜,是立式前开门,大门上有3个观察窗,可以观看镀膜的全过程。
       真空镀膜机抽气系统采用的是以KT- 600油扩散泵为主泵的真空机组,其中包括K-600油扩散泵,抽速为300L/s的罗茨泵,2x70粗抽泵和2 x 30维持泵及相关的阀门和管道,它的极限真空可以达到5 X 10-4Pa。可以在25min以内将容器从大气状态抽到6.67 X10-3Pa的本底真空。
       真空镀膜机磁控溅射靶的结构采用永磁式同轴圆柱靶的阴极结构,靶的长度为2000mm,内径为60mm,外径为70mm,靶材为铝。电磁钢采用条形钕铁硼,靶芯可以进行360o的全方位转动,以保证靶面刻蚀均匀,靶材利用率可达到80%以上。靶管与靶体连接用螺纹,安装拆卸方便。
       转架固定在镀膜室支架后侧的电动机与减速器,通过皮带传动,将转动力矩传送到一根直接通向真空容器内部的转轴上,通过主转盘的转动实现转架的公转。