真空镀膜机有一个部件叫深冷捕集泵，一般专业真空镀膜人员没有提及这个部件的话，好多人几乎都不知道这么一个部件，那么深冷捕集泵到底在真空镀膜机里面启到什么作用呢？下面汇成真空小编为大家介绍一下真空镀膜机深冷捕集泵应用原理，希望能帮助到大家：
在高真空环境中，都存在有一定的残余气体。由于水分子量比氧气，氮气等空气主要成分的分子量都小，因此，无论是油扩散泵还是分子泵，都无法迅速，有效地将其抽出，故而越积越多，最后成为占残余气体65%~95%以上的剩余气体；
同时，由于真空泵在使用过程中不可避免的会产生泵油蒸发现象，会有少量油蒸汽进入真空系统。
由于水蒸气和油蒸汽的存在，导致真空系统无法迅速达到客户使用所需的真空度，导致抽真空时间变长，生产效率下降，所需真空度越高，环境湿度越大，影响越明显。
同时，水蒸气，油蒸汽的存在，会导致膜层牢固度下降，无法多层镀膜，颜色不均一等。
水蒸气在某些条件下还会电离，产生氧气，使靶材氧化，导致镀膜颜色发生变化。环境湿度越大，温度越高，所需真空度越高，影响越大。 因此，水蒸气，油蒸汽是
真空镀膜机镀膜领域及高真空获得领域的主要危害气体。
