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真空镀膜设备操作步骤是怎么样的

2020-07-27

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       新人刚进入厂房的时候,前提都是要通过系列专业性的培训,真空镀膜设备操作流程,真空镀膜设备捡漏问题,以及维修问题,安全隐患都要通过培训,这样能够崔进新镀膜工程师能节省时候,能快速上手操作机器,今天汇成真空为大家介绍一下,真空镀膜设备的操作流程是怎么样的,希望能帮到大家:
镀膜设备
      第一:首先为大家介绍一下电控柜的操作,每款设备操作都是有流程的,任何一步都不能遗漏。(1)首先开水泵、气源。(2)接着开总电源。(3)开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。(4)开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。(5)观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。
 
       第二:DEF-6B电子枪电源柜的操作,(1)打开总电源。(2)同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。         (3)开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。
 
      第三:关机顺序。(1)关高真空表头、关分子泵。(2)待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。(3)到50以下时,再关维持泵。
 
      以上是真空镀膜设备的操作步骤,新人准备上手操作机器的时候,一定要把设备的操作流程记牢记,切勿遗漏任何环节,后面操作时间长了,自己就顺手了,慢慢也就成为专业的操作镀膜设备的工程师。