HCSH系列
低摩擦性能涂层
专为摩擦性高负荷系统设计，低摩擦性能涂层的应用，为汽车零部件表面处理开启了新视角和技术解决方案，提高了系统效率和部件使用寿命，经过强化的摩擦性能不仅能防止零件磨损，还能在运行时对相对件进行抛光和保护。
真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材，充分考虑可承受高温。
配置多只高效园形电弧蒸发源，或配多个矩形平面电弧蒸发源，也可配多只空心阴极枪，同时配置耐冲击的、具有优异灭闪弧性能的偏压电源，保证足够等离子体密度和反应活性，提高膜层致密性和结合力。
采用独有的磁场控制技术使电弧在靶材整个表面做快速的移动，涂层表面光滑致密，靶材表面被均匀刻蚀，优化了涂层结合力。低温至300℃，也具有出色的涂层附着力，新技术带来了更快的批次周转效率，优化了涂层生产效率，高精密度，在有效镀层范围内涂层厚度均匀。
优势：
•提高靶材利用率(最大可提高30%)
•强化的磁场系统和由此带来的沉积效率的提高
•快速的靶材交换
占地面积小，易于集成到工厂
整个腔室中均匀的镀膜沉积速率
易于操作维护
多种工艺技术灵活组合
耐用类金刚石涂层镀膜
本地或远程监控镀膜过程
| 型号 | HCSH-400 |
| 有效等离子区域 | D400×H450mm |
| 最高工作温度 | 550℃ |
| 技术特点 |
PMAⅡ AEG HIPIMS |
| 预处理 | ARC, AEG, DC, MF, HIPIMS |
| 阴极 | D120 / D160 / W125 |
| 真空条件 |
极限真空≤5×10-4Pa 工作真空≤5×10-3Pa |
| 工艺周期 |
关门到开门4~5h TiN：2~2.5um TiAlN：2~2.5um TiSiN：2~3.5um |
| 设备配置 |
磁悬浮分子泵 脉冲偏压电源 PC智能控制系统 |
| 标准转架 | D140×4轴 |
| 最大装载量 | 200KG |
| 备注 |
选用溅射（UBM，RF等）有效高度会适当减小 在线服务支持系统 |
| 型号 | HCSH-650 |
| 有效等离子区域 | D650×H750mm |
| 最高工作温度 | 550℃ |
| 技术特点 |
PMAⅡ AEG HIPIMS |
| 预处理 | ARC, AEG, DC, MF, HIPIMS |
| 阴极 | D120 / D160 / W125 |
| 真空条件 |
极限真空≤5×10-4Pa 工作真空≤5×10-3Pa |
| 工艺周期 |
关门到开门5~8h TiN：2~2.5um TiAlN：2~2.5um TiSiN：2~3.5um |
| 设备配置 |
磁悬浮分子泵 脉冲偏压电源 PC智能控制系统 |
| 标准转架 | D140×8轴 |
| 最大装载量 | 500KG |
| 备注 |
选用溅射（UBM，RF等）有效高度会适当减小 在线服务支持系统 |
| 型号 | HCSH-900 |
| 有效等离子区域 | D900×H1200mm |
| 最高工作温度 | 550℃ |
| 技术特点 |
PMAⅡ AEG HIPIMS |
| 预处理 | ARC, AEG, DC, MF, HIPIMS |
| 阴极 | D120 / D160 / W125 |
| 真空条件 |
极限真空≤5×10-4Pa 工作真空≤5×10-3Pa |
| 工艺周期 |
关门到开门7~10h TiN：2~2.5um TiAlN：2~2.5um TiSiN：2~3.5um |
| 设备配置 |
磁悬浮分子泵×2 脉冲偏压电源 PC智能控制系统 |
| 标准转架 | D140×12轴 |
| 最大装载量 | 500KG |
| 备注 |
选用溅射（UBM，RF等）有效高度会适当减小 在线服务支持系统 |
HCVAC-PVD
