真空镀膜机是目前镀膜行业用得最广泛的真空设备，随着行业的发展，各种类型的真空镀膜机也在逐渐出现。但是大部分人，并不了解真空镀膜机的工作原理。真空镀膜机最主要是由真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成，排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。真空设备也分好多类型和型号，比喻：磁控溅射镀膜机、不锈钢镀膜机、蒸发镀膜机，种类不一样，用途不一样，型号也就不一样，但是它们的工作原理是相通和类似的，下面为汇成真空小编为大家详细的讲解一下真空镀膜机的原理和常见问题，便于后期大家在采购镀膜机的时候，方便沟通和交流，碰到常见的一些问题，也能自己及时处理，不至于消耗太多不必要的时间。
真空镀膜机真空主体是真空腔，他是根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢" target=_blank>不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。
它排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。
真空镀膜机镀膜过程对环境也是有一定的要求，加工真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要。基片进入镀膜室前均应进行认真的镀前清洁处理，达到工件去油、去污和脱水的目的。基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体。真空镀膜厂家这些污物基本上均可采用去油或化学清冼方法将其去掉。对经过清洗处理的清洁表面，不能在大气环境中存放，要用封闭容器或保洁柜贮存，以减小灰尘的沾污。用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底，可使碳氢化合物蒸气的吸附减至最小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面，一般应贮存在真空干燥箱中。
清除镀膜室内的灰尘，设置清洁度高的工作间，保持室内高度清洁是真空
镀膜机镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区，除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外，还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内，注意油扩散泵返油，对加热功率高的扩散泵必须采取挡油措施。
