溅镀，一般指的是磁控溅镀，归于高速低温溅镀法.

      该技能请求真空度在1×10-3Torr摆布，即1.3×10-3Pa的真空状况充入慵懒气体氩气(Ar)，并在塑胶基材(阳极)和金属靶材(阴极)之间加上高压直流电，因为辉光放电(glow discharge)发生的电子激起慵懒气体，发生等离子体，等离子体将金属靶材的原子轰出，堆积在塑胶基材上.

真空镀膜机溅镀的原理是什么
       以几十电子伏特或更高动能的荷电粒子炮击资料外表，使其溅射出进入气相，可用来刻蚀和镀膜。入射一个离子所溅射出的原子个数称为溅射产额(Yield)产额越高溅射速度越快，以Cu,Au,Ag等最高，Ti,Mo,Ta,W等最低。一般在0.1-10原子/离子。离子能够直流辉光放电(glow discharge)发生，在10-1—10 Pa真空度，在两极间加高压发生放电，正离子会炮击负电之靶材而溅射也靶材，而镀至被镀物上。
       正常辉光放电(glow discharge)的电流密度与阴极物质与形状、气体品种压力等有关。溅镀时应尽也许保持其安稳。任何资料皆可溅射镀膜，即便高熔点资料也简单溅镀，但对非导体靶材须以射频(RF)或脉冲(pulse)溅射;且因导电性较差，溅镀功率及速度较低。金属溅镀功率可达10W/cm2，非金属<5W/cm2
二极溅镀射：靶材为阴极，被镀工件及工件架为阳极，气体(氩气Ar)压力约几Pa或更高方可得较高镀率。

磁控溅射：在阴极靶外表构成一正交电磁场，在此区电子密度高，进而进步离子密度，使得溅镀率进步(一个数量级)，溅射速度可达0.1—1 um/min膜层附着力较蒸镀佳，是现在最有用的镀膜技能之一。

蒸发镀膜机的日常维护
       1、例行保养生产设备中发现了一个不好的迹象，立即解决。镀膜机不要认为这油定期更换，等待维修时间，转子泵严重磨损可能。例如，轴承的一些卡工件转架，更换轴承，然后等到它完全打破了，可真是个大问题，镀膜机可能会导致转架电机烧毁等。
      2、定期检修，镀膜机有人会问一个日常的维护也需要定期维护？事实上，每个设备都有它自己的生命，如2年油扩散泵的使用寿命，提前更换，镀膜机在生产阶段没有问题。只要你把日常维护和定期检修，对设备的使用寿命，在同一时间的延长，生产过程中的失效概率大大减少，提高了生产效率。， 3，不要盲目拆卸。镀膜机问题的真空部分是困难的，而许多公司不泄漏检测器，并将逐步找到。为什么不去真空可能有以下几点： 1也许是泄漏率，也就是我们常说的泄漏； 2也许是真空机组的抽气能力是不够的，污染或氧化；
      3、可能是一个真空室太脏空气；镀膜机漏水4真空室；
      4、次管道泄漏；或是有可能。的问题，首先是判断，是吧？拆除吗？将漏水？阀门的开启？根据现象判断，然后根据判断发现问题，可以取得事半功倍的效果。
      5、养成良好的卫生习惯。镀膜机除尘设备及周边设备，石油设备本身是相当大的。灰尘会产生静电，对电子元器件的损坏。油能使导线管淬火裂纹，导致一些意想不到的问题。我们使用的真空设备，真空设备和其自身的特殊性。真空镀膜机，注意清洁卫生是一个真空，真空度差，通货紧缩更。