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真空镀膜机该如何正确开机操作?

2020-08-06

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       真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种,常用于对半导体、光伏、电子、精密光学等行业的纳米级表面处理,其原理是通过电子枪发射高压电子轰击坩埚中的待镀靶材,使其在高真空下蒸发并沉积在被镀基片上以获得镀膜。那么真空镀膜机如何开机操作呢?步骤如下:     

 


      1. 检查真空镀膜设备各操作控制开关是否在"关"位置。
      2. 打开总电源开关,真空镀膜设备送电。
      3. 低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。
      4. 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。
      5. 落下钟罩。
      6. 启动真空镀膜设备抽真空机械泵。
      7. 开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。
      8. 多弧离子镀膜机当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时,低压阀推入。
      9.真空镀膜设备开通冷却水,启动扩散泵,加热40min。
      10.低压阀拉出。立式单开门镀膜机重复一次⑦动作程序:左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至6.7Pa时,开高压阀。

       随着时代的发展,真空镀膜机镀膜技术一直影响着的人们的生活习惯,镀膜技术也随着生活水平的提高而不断的改革,从原先的水镀,到如今的真空镀,虽然如今的真空镀市场需求逐渐在增加,但是随着时代的日新月异,镀膜技术也要持续不断的创新,紧跟时代步伐。