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真空镀膜机镀膜均匀性问题以及水环式真空泵管路安装注意事项

2020-08-06

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       随着镀膜技术的快速增长,各种类型的真空镀膜机也开始逐渐出现。但是论起薄膜的均匀性,恐怕所有的真空设备镀制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响,现在我们就溅控溅射镀膜机来看看造成不均匀的因素有哪些。  

      对此,真空镀膜机厂家指出,它的运作原理其实很简单。就是通过真空状态下正交磁场使电子轰击氩气形成的氩离子再轰击靶材,靶材离子沉积于工件表面成膜。如此车灯镀膜机厂家就该考虑与膜层厚度的均匀性有关的有真空状态、磁场、氩气这三个方面。真空状态就需要抽气系统来控制的,每个抽气口都要同时开动并力度一致,这样就可以控制好抽气的均匀性,如果抽气不均匀,在真空室内的压强就不能均匀了,压强对离子的运动是存在一定的影响的。另外抽气的时间也要控制,太短会造成真空度不够,但太长又浪费资源,不过有真空计的存在,要控制好还是不成问题的。



镀膜机



      真空镀膜机水环式真空泵管路安装注意事项
      1.选择合理的管路方案
      (1)真空系统出口与泵的入口之间距离越短越好; 
      (2)管路拐弯越少越好;
      (3)进口管路应高于泵的入口中心线,出口管应避免有引起较大阻力的因素,如出口管上爬、直角拐弯等;
      (4)配接进出口管直径应与产品的进出口直径一致,如真空系统较小,进出口配接管直径可以小,但不得小于产品进出口直径的70%,且出口直径应大于或等于入口管直径;
      (5)管路的拐弯处应圆滑过渡;
      (6)真空泵的进水管路要安装阀门,用来调节进水量的多少,进水量的多少对真空度有影响,调节进水量时通过观察真空表的指针来控制阀门,SK-0.8的极限真空能达到-0.087,在工作状态下,因为管路不是完全密封的状态,真空度在-0.06左右就能满足工作需求。
      2.安装或维修管路时,防止掉进异物。
      3.管路的接头要加密封垫,不得有漏气、漏水现象。
      4.真空系统的吸气口处安装真空表,以便掌握真空的变化情况。
      5.吸气口的管路上安装阀门
      当真空度达到极限时会产生很大的噪音,叫气蚀声,通过阀门来调节真空度,真空度高时,试压爆破检测仪,打开阀门放掉适量的气体,气蚀声立刻消失.真空度下降时关闭阀门。
      6.循环水
      循环水的其中一个重要作用还是用来冷却真空泵工作时产生的温度,打压泵,当循环水的水温超过40度,真空度会降低,及时补充或更换冷水来降低循环水的温度,围栏设备上的真空泵多用铁油桶来装循环水,水桶的水要多一些。