真空镀膜设备是现在制造真空条件使用最为广泛的真空设备，通常用真空室、真空机组、电气控制柜三大多数构成，排气体系选用“分散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”构成。真空镀膜设备广泛应用于各个行业，数码电子产品，装饰、通信、家居、五金等等，应用行业不一样，机型不一样，镀膜方式不一样，但是镀膜原理却类似。下面汇成真空小编为大家详细介绍一下真空镀膜设备的组件构成及原理：
一、真空主体——真空腔根据加工产品请求的各异，真空腔的巨细也不一样，现在使用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢资料制造，请求不生锈、坚实等，真空腔各部分有衔接阀，用来衔接各抽气泵浦。
二、辅助抽气体系 ：排气体系为镀膜机真空体系的重要部分，首要有由机械泵、增压泵(首要介绍罗茨泵)、油分散泵三大多数构成。此排气体系选用“分散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”构成。
排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA摆布的低真空状况，为分散泵后继抽真空供给条件，以后当分散泵抽真空腔的时分，机械泵又合作油分散泵构成串联，以这么的办法完结抽气动作。
机械泵：也叫前级泵，机械泵是使用最广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依托机械的办法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断胀大然后获得真空。
1.真空镀膜设备机械泵的分类：机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此首要使用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此现在使用最广泛，这篇文章首要介绍)四种类型。
2.
真空镀膜设备机械泵是从大气开端作业的，它的首要参数有极限真空，抽气速率，此为规划与选用机械泵的重要依据。单级泵能够将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵能够将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。
