真空镀膜机开机和关机,都会有一些安全隐患和技巧,对于熟悉的工作人员来说,是轻车熟路,但是对人新人来说,为了保证万无一失,是需要重视的。
(1)熟练掌握“真空镀膜机安全操作规程”。
(2)开机前先检查水、电、气是否正常。(冷却水压力一般可在0.2MPa以上,气在0.4Mpa以上,电压在370-390V)。
(3)开机步骤:气动机械泵,约30s后开前级阀,开复合真空计,待前级抽至10Pa以下且稳定时再开启扩散泵(必须到后面查看以下电炉丝是否发红)。
(4)关机步骤:关电离计,关闭高阀,切断加热器电源,用前级泵抽前级自然降至室温,关前级管道阀,停止机械泵,停冷却水、停电、停气。
真空镀膜机镀膜系统配置
我们认为:既然镀膜设备是为镀膜生产服务的,那么我们设计制造的镀膜系统就必须适应用户的生产工艺,而不是让用户改变生产工艺来适应我们的镀膜机。------弗兰克泽蒙
在过去的15-20年中, 光学薄膜镀制设备出现了令人瞩目的变化。以前,一般的镀膜机都是纯人工操作,最先进的也只是半自动控制, 都必须依*高水平的操作人员来保证镀膜产品的一致性。而现在,高质量的光学镀膜机已经是一个集成了系列智能化模块(子系统)的全自动系统。这些智能模块(子系统)通常在多个微处理器的指令下结成局域网(LAN), 而局域网又可并入整个工厂的自控系统。
用户经验的不断增加使他们对设备性能的要求也越来越苛刻,以至于我们现在不难发现用户在购买
镀膜机的同时,还要求厂家提供相关工艺技术。本文探讨的是当今光学镀膜系统中可采用的子系统及部件,以及镀膜工艺在部件选择和真空室配置等方面所起的决定性作用。 尽管其他技术日渐流行, 但鉴于物理蒸镀依然是目前适用性最强、应用最广泛的手段,因此本文中的讨论只涉及物理蒸镀技术。