类金刚石镀膜DLC现以扩散泵机械泵系统为例，首先装好类金刚石镀膜，类金刚石镀膜抽气后达到要求的真空度再装扩散泵并抽空检查，类金刚石镀膜符合扩散泵真空度的要求后才安装被抽容器。类金刚石镀膜决不能把很多真空元件不经检查，一次安装完毕。否则，一旦发生漏气，类金刚石镀膜找漏孔就会十分困难。
类金刚石
真空镀膜机系统的使用与维护不能马虎。类金刚石镀膜首先要有好的工作环境：室内温10-30oC，相对湿度不大于65%，类金刚石镀膜冷却水进水温度不超过25oC，电源的电压允许波动范围±10%,。还要根据类金刚石镀膜真空系统的实际情况制定合理的操作规程。
类金刚石镀膜检查各组件如机械泵、扩散泵、阀门是否正常，第一次使用时可能因长期搁置，真空系统中各组件表面和泵油吸附很多水蒸汽和各种气体，所以抽真空时很可能达不到要求的真空度。类金刚石镀膜这时可以反复的作二、三次放气和抽真空，使各组件和泵油充分的脱气。如果第三次抽气时真空度仍达不到要求，就说明类金刚石镀膜系统可能漏气了。
类金刚石
DLC真空镀膜机具备多种DLC涂层沉积技术，模块化的涂层设备设计，可根据客产品应用需求，单独或组合过滤阴极电弧，闭合场磁控溅射，PACVD和离子源技术模块于DLC沉积设备，适用于多种科学研究，产品开发和批量生产的要求。技术先进，操作方便，能量消耗少，绿色环保等特点，广泛应用于机械，电子，光学，能源，装饰等领域。具有具有良好的附着性，高的硬度和耐磨性，低的摩擦系数，低的表面粗糙度，能在多种金属与合金工模具或零件表面沉积DLC涂层。独特的低温涂层技术，还能适用于在塑胶等不耐高温的材料上沉积DLC涂层。
