电子枪是光学真空镀膜机很重要的一个部件，商家采购光学真空镀膜机运输会厂房的时候，就会涉及到电子枪的安装环节，电子枪安装环节看似简单，但是该注意细节的地方是非常多的，电子枪安装好坏，对后期是否能正常工作是有很大的影响。保护后期光学镀膜机电子枪维护也是非常重要，下面汇成真空小编为大家介绍一下光学真空镀膜机电子枪安装与维护，希望能对大家有所帮助：

光学真空镀膜机电子枪蒸发源控制系统是由电子枪灯丝电源、高压电源、扫描电源、坩埚驱动电源、蒸发源等组成一个电子枪控制电柜。
       电子枪控制电柜内含有高压，在工作前必须保证柜门各个联锁装置正常工作，非专业人员不得打开电柜门，电子枪在工作时不得打开电柜门，整个电柜必须有良好的接地并与机台接地连接。
       电子枪蒸发源安装在真空室底板上，必须与底板有良好的接地效果，安装蒸发源必须使用不锈钢螺丝来固定，周边200mm以内不得有导磁的物体，否则会影响到电子枪的光斑成表，造成电子性能的不良。电子枪档板应尽量装在蒸发源坩埚的中心上30mm处，以不影响电子束的发射为好。
       电子枪蒸发源是一个精密机械加工体，在工作时必须保证有良好的冷却水，如过高的温度会影响电子束的成型及各密封圈的性能。

      （一）电子枪头
        电子枪的枪头安装好坏直接影响到工作的正常进行，其发生的故障有90%同电子枪枪头有关。
        电子枪枪头有使用一段时间后，会因为组件的污染而影响电子束的成型及功率，需要拆卸清洁。

      （二）坩埚的维护
        拆坩埚之前，请先关掉水路用压缩空气把电子枪冷却管内的水分尽可能吹干净。

        蒸发源装卸顺序：
        1.拆落两条冷却水连接管。2.拧出电子枪枪头连接高压线两个螺丝。3.拆坩埚传动连接座、联轴器。4.拧落蒸发源四个固定螺丝。5.把蒸发源搬运到一个稳定平整的工作台。6.拆落坩埚盖板四个螺丝，取下盖板打磨干净。7.检查盖板上面两个密封圈是否需要更换。8.把蒸发源反转过来倒置，用木板垫住坩埚部分。9.拧下固定坩埚转动四个螺丝10.抬起蒸发源，取下坩埚 11.把坩埚倒置，拧下坩埚底盖的八个螺丝，清洗干净里面的污垢，检查是否需要近密封圈。12.拧下导水管的一个螺丝13.拧下坩埚转动机构与坩埚盖板连接的四个螺丝 14.拨出坩埚转动轴，检查转动轴的油封是否需要换件 15.把坩埚清洁干净安装。安装按上面的倒过顺序来进行。

      （三）光学真空镀膜机导磁板及扫描圈的维护
        光学真空镀膜机导磁板及永磁铁是不需要经常拆卸维护，如需拆卸，请注意永磁铁的极向，及导磁板的方向。线圈由于安装的空间密实，请不要使用硬尖的东西撬动，否则有可能会造成损坏。