真空镀膜机电真空器件的气密性检测基于氦质谱检漏仪的结构和原理，设计了适用于电真空器件气密性检测的检漏平台。电真空器件的结构特点及测量精度要求决定了氦罩法和喷吹法是电真空器件氦质谱检漏技术中最常用方法，氦罩法测定总漏率，总漏率超出允许值后用喷吹法对漏孔准确定位。双回路复杂结构和复杂串联漏孔的定位，表明了氦质谱喷吹法在电真空器件检漏中的影响因素必须遵循的喷吹检漏原则。同时，温度、临时密封材料和设备材料吸附等因素会带来一定的测量误差。
真空气密性是影响微波管性能及寿命的主要因素之一，因此真空检漏是真空电子器件制作工艺中可靠性保障的重要工序。电真空器件的特点和漏率值要求决定了其气密性检测主要采用氦质谱检漏方法。氦质谱检测技术以其漏点漏率可量化、灵敏度高、速度快、使用安全、适用范围广等特点，在航空、航天、汽车和电真空行业得到了广泛的应用。
真空镀膜机捡漏与其他诸多传统检漏方法相比，氦质谱检漏具有不可比拟的技术优越性。氦罩法和喷吹法是电真空器件氦质谱检漏技术中最常用的两种方法。氦罩法是对总漏率进行测定，当总漏率超出允许值后用喷吹法进行漏孔的准确定位。目前，鲜有文献对电真空器件氦质谱检漏技术进行系统地研究。
