真空镀膜机阴极靶温度对电弧影响是非常大的，温度控制的是否及时与合理，直接影响着基材镀膜效果，以及生产效率，因此，一般厂家操作真空镀膜机都一般要请有经验懂镀膜技术的专业人员，这样既能控制成本，又能提高效率。那么真空镀膜机阴极靶温度对电弧有那些影响呢。靶源的阴极电弧放电燃烧的稳定性依赖于阴极表面的蒸发温度，降低阴极表面温度，会带来很高的电弧燃烧稳定性。同时降低阴极蒸发表面的温度，也会导致金属蒸气中的大的粒子数和大的溅射物降低。
观察真空离子镀膜机靶阴极电弧的燃烧情况，每当电弧熄灭前，总是发现电弧弧斑极为粗糙。有时甚至出现堆团状弧斑。熄灭后观察靶面已发红，靶表面温度很高。粗糙弧斑的出现，使弧电流较集中于靶面一点，导致了弧斑下靶面斑点电流过于集中，使弧斑下的靶面温度更高而产生大量的热电子发射。靶面局部大量的热电子发射的结果，一方面中和了大量的空间电荷，使阴极表面上的电场成为减速场，甚至导致阴极表面上的电场等于零。另一方面，大量的热电子发射对阴极表面产生相当大的冷却作用。结果既没有空间电荷产生的强大电场来维持表面发射，也不具备极高的表面温度来产生热电子发射，导致电弧的熄灭。
所以在
真空镀膜机多弧靶源的设计中，应注意给阴极靶以充分的冷却，最好采用直接水冷，间接水冷时，阴极座等相邻部件应选用导热性能良好的材料（如铜、铝等）
