生活中，
真空镀膜机应用很广泛，真空镀膜设备种类及型号繁多，但无论何种真空镀膜设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统，以便在真空容器内获得所需要的真空条件。那么真空镀膜机完整组成结构是怎样的呢？
一、一个真空处理用的容器，用管道和阀门将它与真空泵连接起来，当真空泵对容器进行抽空时，容器上要有真空测量装置，这就构成了一个最简单的真空抽气系统。
二、最简单的真空系统只能在被抽容器内获得低真空范围内的真空度，当需要获得高真空范围内的真空度时，真空系统中串联一个高真空泵。当串联一个高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门，以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵，为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器，通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板根据要求，还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀等等，这样就构成了一个较完善的高真空镀膜机。
三、凡是由两个以上真空泵串联组成的真空镀膜机，通常都把抽低真空的泵叫做它上一级高真空泵的前级泵(或称前置泵)，而最高一级的真空泵叫做该真空系统的主泵，即它是最主要的泵，被抽容器中的极限真空度和工作真空度就由主泵确定。被抽容器出口到主泵入口之间的管路称为高真空管路，主泵入口处的阀门称为主阀。
四、总体来说，一个较完善的
真空镀膜机由下列元件组成，（1）抽气设备（2）真空阀门；（3）连接管道；（4）真空测量装置：例如真空压力表、各种规管；（5）其它元件：例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。
