光学镀膜机在日常中应用比较广泛，是现代光学和光电系统最重要的一部分，在通信行业，显示屏，激光加工融合行业广泛应用，因此光学镀膜机在市场的占比率是非常高的。随着市场对光学镀膜机需求率提升，光学镀膜机的清洗和保养问题也是格外受到重视，因为机器维护好，可以提高机器的使用寿命，以及降低成本。下面汇成真空为大家介绍一下光学镀膜机如何清洗和保养，希望能帮助到大家：
一、光学镀膜机的清洗
设备使用一个星期后（三班），因镀料除镀在工件表面外，亦因无定向性而工作室 内的衬板上镀料，并越镀越厚，该层膜厚因组织、繞疏松，吸收大量气体而造成真空镀膜设备抽气越来越慢。此时，应对工作室及衬板进行清洗，如不必要拆落来的部件，可用砂纸打磨干净，衬板可浸泡在氢氟酸水溶液里，氢氟酸和水的比例看需要浸泡时间长短以及不伤衬板为原则。
注：衬板必须烘干水份才能安装，烘干前，衬板的水分尽量抹干，工作架等部件用砂纸清洁后，需要把真空室的所有灰尘清理干净，此可用吸尘器吸干净灰尘。最后安装衬板时，真空室及衬板都需要用酒精控拭干净。
因使用电子枪及离子源辅助镀膜，可能会造成清洁困难，可使用喷沙等方法来清洁。
二、
光学镀膜机的保养
（一）定期更换扩散泵油
扩散泵油使用一段时间，约二个月（两班），因在长期高温环境，虽然较高真空时才启动扩散泵，但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反应，扩散泵油在高温下也可能产生裂解，使其品质下降，而延长抽气时间。在我们认为时间延长得太多时，应予更换。
（二）真空泵
机械泵油、维持泵油在使用二个月，油质会发生变化。因油可能抽入水分、杂质及其它原因，而使用油粘性变差，真空下降，故需要更换。如为新设备，在使用头半个月即应更换，因在磨合期，油含磨合铁粉较多，会加剧磨损。
（三）清洁卫生
定期将设备及其周围环境卫生搞好，常保持设备内外清洁，将设备周围环境整理有条，有一个好的工作环境，以保安全。
