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真空镀膜机使用注意事项

2021-12-11

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      使用真空镀膜机避免不了要注意一些日常的注意事项,及时防范和排除,才能有效的减少突发故障发生,以及延长机器的使用寿命。下面汇成真空小编为大家详细列数一下日常真空镀膜机注意事项:


真空镀膜机


      1、定期清洁真空室并尽量抹干,每次都彻底洗干净,以免造成越来越难洗的现象。烘干后再镀膜,头一炉应比原来延长四倍时间才镀膜。
      2、定期更换扩散泵油,更换真空泵及罗茨泵油。更换扩散泵油前一定要确认真空度是否低于1X102Pa,扩散泵里面的油温是否彻底冷却到常温状态后,方可进行加热或充大气进行拆卸,否则会产生伤害人的严重后果。
      3、平时整个系统要保持真空状态,工作前才充入气体,不要使真空室长期暴露在大气中。
      4、经常检查胶封是否良好,特别是动密封圈,定期给动密封处加上真空脂。
      5、定期检查电气元件,清除灰尘,更换烧坏的元器件。
      6、在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门。拆卸的方法是:先将整个真空系统抽至真空状态,注意不要加热扩散泵,用手动打开精抽阀,然后按放气阀按钮让系统充入大气,当真空室充满大气后就可进行拆卸扩散泵和阀门。
      7、停旋片泵、滑阀泵时,要注意电磁阀(或气动阀)是否向泵腔充气,否则会引起回油,污染真空管道。因此,电磁阀(或气动阀)充气动作失灵时,必须及时进行修理或更换。
      8、对于偏北地区,在寒冷季节,夜间和较长时间停机时,必须用压缩气体将冷却水赶出冷却管道、泵体,以免冻裂冷却水管(套)和泵体。
      9、精抽系统要待真空压强达到3Pa后才能工作,若在过高的压强下进行抽气,会使扩散泵油氧化,降低抽气能力,缩短泵油的使用寿命。
      10、为保证真空镀膜设备有清洁的工作环境,滑阀泵排出的气体必须用管道将它排出工作房之外,因为从滑阀泵排出的气体含有很多微小的油雾会污染被镀的工件,严重影响膜层的质量。
      11、在工作过程中不得断水,采用的冷却水必须清洁,不得使用硬水或浊水作为冷却水,否则会使冷却水管沉积一层水垢,影响冷却效果。
      以上只是列举了几条日常比较重要的真空镀膜机注意事项,还有很多细节,就不一一列举了。