真空烧结炉采用电阻加热;可采用单温区或多温区加热方式,温度均匀性好;分卧式、立式两种结构,以满足不同工件的烧结;设备智能化程度高,操作简单,安全可靠。主要用于钛合金;不锈钢过滤器、工业过滤网;硬质合金、粉末冶金、陶瓷材料等材料的烧结处理。真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。真空烧结炉在使用过程中,也会出现紧急情况,那么遇到一下三种紧急情况,该如何处理呢?
真空烧结炉突然停电,该如何处理?
1、停电时,如果断水,应立即接通备用的冷却水,接通水源。
2、如果在非升温、加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,继续运转如需要较长时间,则将设备保持原状。
3、如果正在加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,如果需要较长时间时,则保持原状,让设备自然冷却下来。
真空烧结炉,加热电源掉电 ,该如何处理?
1、水压低,当水压低于0.15MPa,压力表报警。
2、接地故障。
3、真空放电,水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固,与反射屏绝缘要好。
4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障,掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。
真空烧结炉,充气气体停止 ,该如何处理?
1、抽真空开始前,气体充入时间长或者无法充入时,请确认气体管路是否被堵塞。
2、如气体管路没问题,检查电磁阀及气体充气阀的动作,为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。
3、向真空室内充气不能停止的情况下,泄压阀动作如泄压阀动作时,要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。
4、确认气体充气配管是否有漏气的地方,如有会影响制品质量。