真空镀膜机类型有很多种,有的制造公司是以应用领域来分类的,有的是以镀膜技术来分类的。但是以应用领域分类的话,会更好区别一些,因为真空镀膜机应用领域比较广泛,那么按领域来分的话,就是分的比较的精准,也就更好区别。因此在采购真空镀膜机时,一定要告知制造厂商那边,是要镀制什么工件,镀什么膜层,有什么特殊要求等等,这样制造厂商才会推荐应用领域相对应的真空镀膜机。下面是汇成真空小编为大家准备的一些真空镀膜机采购要点,希望能帮助到大家:
1.炉体可用不锈钢、碳钢或其组合材料制成。
2.根据工艺要求,选择不同规格和型号的镀膜设备,包括电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
3.夹具操作有旋转、旋转和旋转+旋转模式。用户可根据基板的尺寸和形状提出相应的要求。转速范围及精度:普通可调和变频调速。
4.真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、膨胀泵、罗茨泵、坩埚轮分子泵等及各配套的气动、手动、电动阀门、管路等组成。
5.根据工艺要求,选择电镀方法和形式,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控管源(同轴圆柱形磁控管源、圆柱形平面磁控管源、矩形平面磁控管源等)、靶材和多弧源尺寸(Ф60、Ф80直径靶、气动、电弧启动等),真空测量可选用数字式智能真空计及其高质量的测量规程,以及其他测量仪器,如自动压力控制器等。薄膜厚度可由平方电阻计、透射率计等测量。
6.充注方式可选择质量流量计、转子流量计+针阀及相应的充注阀,并可选择多通道充注管路及相应的流量参数。
7.根据烘烤结构,提出了烘烤温度、物料及相应的设备。
8.根据设备特点,可选择手动、半自动、全自动或它们的组合控制方式。
9.对
真空镀膜机的本体、扩散泵缺相、缺水、气压、电力负荷过电压、过流等异常情况提供声光报警。