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蒸发真空镀膜机及物理原理介绍

2022-05-09

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      蒸发真空镀膜机主要由真空室和抽真空系统组成,真空室内有蒸发源(即蒸发加热器)、基片及基片架、基片加热器、电源,蒸发舟、电极棒等。真空系统,有粗抽、中抽、精抽等,分别有机械泵、罗茨泵、扩散泵或分子泵。



蒸发真空镀膜机



      将镀膜材料置于真空室内的蒸发源中,在高真空条件下,通过蒸发源加热使其蒸发,当蒸气分子的平均自由程大于真空室的线性尺寸以后,膜材蒸气的原子和分子从蒸发源表面逸出后,很少受到其他分子或原子的碰撞与阻碍,可直接到达被镀的基片表面上,由于基片温度较低,膜材蒸气粒子凝结其上而成膜。
      为了提高蒸发分子与基片的附着力,可以对基片进行适当的加热或离子清洗使其活化。真空蒸发镀膜从物料蒸发、运输到沉积成膜,经历的物理过程如下:
     (1)利用各种方式将其他形式的能量转换成热能,加热膜材使之蒸发或升华,成为具有一定能量(0.1~0.3eV)的气态粒子(原子、分子或原子团):
     (2)气态粒子离开膜材表面,以相当的运动速度基本上无碰撞的直线输运到基片表面;
     (3)到达基片表面的气态粒子凝聚形核后生长成固相薄膜;
     (4)组成薄膜的原子重组排列或产生化学键合。
     日常真空镀膜机采用蒸发技术进行镀膜的有铝、氟化镁、金、银等等,因为他们有熔点低优点,便于快速蒸发升华。