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广东汇成真空是一家面向全球的真空应用解决方案提供商。公司成立于 2006 年,经过十几年的发展和沉淀,公司研发、生产和销售各类真空镀膜设备,为新能源、新材料、精密光学、半导体等领域提供设备解决方案和工艺解决方案。
在本届氢燃料电池产业高峰论坛中,针对氢燃料电池双极板的涂层工艺,广东汇成真空带来了两款连续式镀膜生产线。第一款是HCMRC系列卷绕式磁控溅射连续镀膜生产线,主要应用的是贵金属涂层的工艺路线方向以卷料的形式进行在线连续镀膜,镀膜完成后进行后续的冲压、焊接、清洗等工艺,膜层的接触电阻、耐腐蚀电流强度等关键性能指标远远优于DOE检测标准,线体走速规划为 0.5-5m/min。
另外一款是HCINLINE系列立式磁控溅射连续镀膜生产线,该生产线主要应用于钛+碳基涂层的主流工艺路线,来料形态以片料的形式进行来料,在线体中以片料悬挂的方式进行在线连续镀膜,镀膜完成之后的性能指标同样远远优于DOE检测标准。同时线体采用弹性化、柔性化设计,方便去进行产能的扩充。
目前线体规划为每分钟1~9片的基础生产节拍,可以根据客户的产能需求进行弹性规划和弹性调整。年产能可以规划在 20 万片、40万片以及百万片的超大线体。针对氢燃料电池的双极板涂层工艺,广东汇成真空有相对稳定的设备解决方案和工艺解决方案。