光学真空镀膜机的日常清洁和维护非常重要。 日常清洁保养做得好可以降低日常生产成本、减少故障率、提高效率等优点。 下面汇诚真空小编就来详细介绍一下光学真空镀膜机清洁保养方法，希望可以帮助到大家：
光学真空镀膜机的保养
（一）定期更换扩散泵油
扩散泵油使用一段时间，约二个月（两班），因在长期高温环境，虽然较高真空时才启动扩散泵，但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反应，扩散泵油在高温下也可能产生裂解，使其品质下降，而延长抽气时间。在我们认为时间延长得太多时，应予更换。
（二）真空泵
机械泵油、维持泵油在使用二个月，油质会发生变化。因油可能抽入水分、杂质及其它原因，而使用油粘性变差，真空下降，故需要更换。如为新设备，在使用头半个月即应更换，因在磨合期，油含磨合铁粉较多，会加剧磨损。
（三）清洁卫生
定期将设备及其周围环境卫生搞好，常保持设备内外清洁，将设备周围环境整理有条，有一个好的工作环境，以保安全。
光学真空镀膜机的清洗
设备使用一个星期后（三班），因镀料除镀在工件表面 外，亦因无定向性而工作室 内的衬板上镀料，并越镀越厚，该层膜厚因组织、繞疏松，吸收大量气体而造成真空镀膜设备抽气越来越慢。此时，应对工作室及衬板进行清洗，如不必要拆落来的部件，可用砂纸打磨干净，衬板可浸泡在氢氟酸水溶液里，氢氟酸和水的比例看需要浸泡时间长短以及不伤衬板为原则。衬板必须烘干水份才能安装，烘干前，衬板的水分尽量抹干，工作架等部件用砂纸清洁后，需要把真空室的所有灰尘清理干净，此可用吸尘器吸干净灰尘。最后安装衬板时，真空室及衬板都需要用酒精控拭干净。因使用电子枪及离子源辅助镀膜，可能会造成清洁困难，可使用喷沙等方法来清洁。
