HCME系列

磁控溅射+蒸发复合型

High vacuum metallization
真空应用解决方案提供商
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Magnetron sputtering+evaporation coating machine 磁控溅射+蒸发镀膜设备

该系列设备结合磁控溅射和真空蒸发技术,既利用磁控溅射阴极辉光放电将靶材原子溅出并离化沉积成膜,同时又利用电阻加热将膜料熔融并汽化沉积成膜,结合PECVD、HiPIMS技术,增加灵活性,实现更多应用。

等离子体处理装置,高效磁控溅射阴极(圆柱靶/平面靶)和电阻蒸发装置等,设备沉积速率快,镀层附着力好,镀层细腻致密,表面光洁度高,且均匀性一致性良好;该机实现镀膜工艺全自动化控制,装载量大,工作可靠,合格率高,生产成本低,绿色环保。

广泛应用于汽车内外饰件、笔记本、智能手机、家用电器等行业,镀制金属膜、合金膜、复合膜层、透明(半透明)膜、不导电(NCVM)膜、EMI电磁屏蔽膜等。


优势:

•以极低的生产成本实现极高的生产率
•灵活的系统,能够对各种类型和尺寸的基材进行金属化处理
•紧凑的人体工程学布局,易于装卸夹具以进行装卸和维护

Product Advantage.

产品特点
HCME系列高真空蒸发镀膜设备包括以下关键功能:
  • 产量大

    大腔室,6/8轴转架,高效提升产量

  • 简单

    易于操作与维护

  • 低成本

    单件镀膜成本低

  • 可重复性

    全自动化可重复涂层工艺

  • 环保

    绿色生产,无污染产生

  • 远程访问

    提供工厂远程诊断

型号 HCME-1820
炉体尺寸 Φ1800mm×H2000mm
炉体 立式双开门
转架设计 6×Ø540
8×Ø430
镀膜区域 15.2m²(镀膜高度1.63米)
预计整炉时间 10-12min
整机占地面积 7000mm×7000mm×3100mm
镀膜技术 辉光放电
蒸发镀铝
等离子体化学气相沉积
SiOx/NOS 保护层
中频 (美国AE)
深冷
注:我司可以按客户产品及特殊工艺要求订做
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电话:13316689188

邮箱:office@hcvac.com

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