为获得必要的真空度，在
镀膜机中一般用机械泵、罗茨泵和扩散泵联合抽气来实现的。那么这四种类型的真空系统原理具体是怎样的呢？下面汇成真空小编详细为大家介绍一下。
第一种：机械泵，机械泵是应用范围最广的泵，在各种真空机组中都少不了它。下面以旋片式机械泵为例叙述一下机械泵的抽气过程。旋片式机械泵的转子由一个圆轴和镶嵌在圆轴切口中的旋片组成，转子的轴线偏离于空腔的轴线，而转子转
动时旋片能始终保持对定子(即机械泵内壁)的滑动接触。由于在温度不变的情况下容器体积和压强成反比，因此机械泵在转动时通过旋片所限制空间体积的不断变化即可达到排气的目的。
第二种：罗茨泵，罗茨泵也是旋转泵的一种，它是依靠一对8字形的渐开线转子在保持一定间隙下通过等速反向旋转而进行抽气的。在它工作时两个转子在机壳内转动，气体从进气口进入空腔，随着转子位置的改变，这个腔体依次和机壳上部进气口隔绝，并紧接着和下面的出气口机通，从而把气体排出泵外。由于转子是连续旋转的，因此气体也就可以连续地被抽出。
第三种：油扩散泵，油扩散泵的工作原理建立在连续流体的伯努利原理上，用扩散泵抽气可以获得低于10托的高真空度，而扩散泵的发明使真空技术发生了巨大的变化，因为以往用机械泵抽气其极限真空一般只
能达到10托。
在使用扩散泵的过程中一定要注意冷却水的流量和温度，并且只有在扩散泵油被加热到沸腾以后，才能开启高真空阀，否则会造成真空室的大量返油。
镀膜机的扩散泵停止工作后，必须使它在机械泵继续工作的情况下充分冷却然后才能关机。
