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PVD设备冷却系统的原理

2020-08-07

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       pvd设备已经广泛应用到各个领域,如电子产品,建材行业、灯具行业、手机视窗、眼镜、工艺品、陶瓷、刀具、模型、洁具、手表、手机壳、塑料制品等领域。已经在我们在我们生活中启到了很大的作用,可以说是无处不在。主要有三大部分组成:真空主体——真空腔,辅助排气系统(包括排气系统、真空测量系统)、蒸发系统(包括坩埚及回转控制系统、电子枪柜)、成膜控制系统。


pvd设备



      pvd设备的金属罩体通过安装孔然后以焊接的方式固定在真空镀膜机的外壁上,待冷却的外壁通过加强圆槽形成渠道,这样确保了冷却的流通,也避免的死角现象的产生,有效的对镀膜机进行了快速的降温,降低了油泵的温度,加强了冷却的强度,结构简单,安全可靠等有点,在真空镀膜机冷却外壳上包括金属罩体的原因是数个排列有序,并且内凹的加强圆槽,所述加强圆槽呈半球形或圆锥台形;

       在所述加强圆槽底部设有用连接现有PVD设备的待冷却外壁的安装孔,所述金属罩体通过安装孔并以焊接方式固定在现有PVD设备的待冷却外壁上,在所述金属罩体与待冷却外壁之间通过加强圆槽构成循环通道,PVD设备循环冷却系统用冷却外壳,其特征在于,在所述金属罩体上相邻两所述加强圆槽的纵横间距为100-300mm,上述加强圆槽槽深为12_15mm,所述金属罩体的厚度为2-5_,PVD设备循环冷却系统用冷却外壳,其特征在于,所述加强圆槽的最大直径为24-136mm。

      pvd设备主要是指在真空度很高的情况下镀膜,已经被广泛应用,制度薄膜尤其广泛,其制作的薄膜也被应用到各种光电系统和光学仪器中,数码相机。望远镜,还有汽车工业等行业都用到了!