真空镀膜设备是由很多个部件组成，每个部件都启到了不同的作用，也启到很关键词的作用，缺一不可，只有把这把真空镀膜机所有的部件联合在一起，才能完整的镀出我们想要的优质产品。随着真空镀膜设备的发展按行业区分可以划分为不同的行业设备，应用于许多基础工业产品的生产。真空镀膜设备的组成可分为四大部分：一是真空的获得设备，二是真空承载设备，三是真空测量仪器，四是真空配件。
真空获得设备
真空获得设备是泵，细分包括：罗茨真空泵、往复真空泵、滑阀真空泵、旋片真空泵、液环真空泵、蒸汽真空泵、喷射泵、分子泵、离子泵等。需详细了解各种泵的数据及参数，请移步真空泵产品专区。
真空承载设备
真空承载设备即真空设备的主体，每个行业不尽相同，比如镀膜行业叫真空镀膜设备，干燥行业叫真空干燥机，包装行业叫真空包装机，每类行业设备又可按工艺来划分不同功能的设备。下面就以镀膜行业来举例：
真空镀膜设备可以分为真空磁控溅射镀膜设备、真空蒸发镀膜设备、真空离子镀膜设备、真空物理气相沉积设备、真空光学镀膜设备等等。每一种设备因其使用工艺和技术不同故有区别，也因不同的产品需要不同类型的工艺。
真空测量仪器
真空测量仪器包括真空压力值测试仪，流量测量仪，真空检漏仪。真空压力值测试仪又叫真空计（电阻真空计、复合真空计、热偶真空计等）；真空检漏仪有火花检漏仪、卤素检漏仪、氦质谱检漏仪等；流量测量仪有浮子流量计、滴管流量计、质量流量计等。
真空配件
真空配件是连接各个真空设备部件的纽带，常用的真空配件有真空阀门，真空管路配件，真空泵油等。
上面叙述出来的部件 ，作为
真空镀膜设备是必不可少的，每个部件在镀膜过程中，启到至关重要的作用。当我们镀膜过程中，出现问题了，就需要在各个环节去排查，从各个真空镀膜设备部件去排查，因为每个部件都有出现故障的可能性，但是在排查过程中肯定也是有主次之分，这就需要各位镀膜工程师自己去把控了。
