真空镀膜设备是目前产品在真空条件下进行镀膜使用最多的设备，一台完整的真空镀膜设备由多部分系统组成，每个系统完成不同功能，实现最终的高品质镀膜。其组成包括真空腔、真空测试系统、抽真空系统、成膜控制系统、油扩散泵、罗茨泵、冷凝泵、机械泵等。
真空镀膜设备的主体是真空腔，真空腔的大小由加工产品所决定，其大小可以定制，腔体一般是用不锈钢材料制作，要求结实耐用不生锈等。真空腔有许多连接阀用来连接各种辅助泵。
抽真空系统采用机械泵+扩散泵+罗茨泵等组成，抽真空系统是镀膜机真空系统的重要组成部分，真空度的高低直接影响产品的镀膜效果，真空度由真空测试系统取得数据。
成膜控制系统可以使用不同的方式，如固定镀制的时间，目测，极值监控，水晶震荡监控等。镀膜方式也分多种工艺，常用的有离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜。磁控溅射方式镀制的膜层附着力强，膜层的纯度高，可以同事溅射多种不同成分的材料，离子蒸发镀膜可以提高膜层的致密性和结合力及均匀性。
真空镀膜设备通常是根据实际的产品工艺需求定制，造价在几十万至上千万。采用人工操作方式的机器设备相对比较便宜，一般在百万左右，技术含量高可以实现完全自动化的机器设备造价会高几倍，国内比较知名的企业可以达到半自动化的作业，少数技术强的可以实现完全自动化
