只要是机械设备，都会有出现故障的时候，真空镀膜设备也是一样，在使用过程中，避免不了一些突发故障发生。但是我们可以通过人为的方式，降低故障的发生率，比如日常对真空镀膜设备进行维护和保养，那么这样既可以减少突发故障发生，也能延长机器的使用寿命，以及到达降低成本的目的。今天汇成真空小编为大家汇总一下真空镀膜设备的常见故障分析及保养，希望能帮助到到家：
真空机组会出现的常见故障：
一、振动大
二、轴承部位发热量大
三、运转的声音明显异常
四、启动困难，电机跳闸或超电流
五、吸气量明显下降
六、卡死
上述问题产生的原因及处理解决方法
一、振动大原因：
1、机座与地面接触不稳，地脚螺栓松动。
2、对中不好。
处理方法：
1、用混凝土填充底座空隙，拧紧地脚螺栓；
2、重新对中和锁紧。
二、 轴承部位发热量大
1、润滑问题，油脂太多或缺少。
2、电机、液环真空泵不对中。
3、轴承生锈腐蚀、滚道被划伤。
4、轴承安装不当。
解决方法：
1、改善润滑条件；
2、重新对中；
3、更换轴承；
4、.重新调整轴承位置。
三、运转声音异常
1、轴承问题。
2、气体冲刷或喷射。
3、排气、吸气管壁太薄。
处理方法：
1、检查轴承有没损坏，更换轴承或者润滑油；
2、把排气口引出室外；
3、更换管壁较厚的气管。
四、启动困难，电机跳闸或超电流
1、泵内部结冰或者内部几件生锈；
2、启动时液环真空泵内液位过高；
3、排除压力增高；
4、配电屏电流保护调整不当。
处理方式：
1、蒸汽加热融化冰；用力扳动转子；
2、按规定液位启动；
3、检查排气管路及阀门口径是否过小；
4、调整热继电器至额定值。
五、吸气下降
1、系统泄露‘
2、柔性阀板破损；
3、供液量不足或液温过高；
4、内部机件间隙大，机件腐蚀；
5、轴向间隙不符合要求。
处理方式：
1、检查链接管路的密封性；
2、更换阀板；
3、调节供液量，检查供液管路是否堵塞；
4、调整轴向间隙；
5、更换零件。
六、卡死
1、管路进异物被气体带入泵体；
2、严重结垢。
处理方法：
1、清理泵体，检查管路。
2、清洗。
真空镀膜设备保养：
对于真空设备的真空机组，每运行2500小时，需要检查更换一次轴承润滑油，油脂量应该占轴承室净空间的三分之二左右。
三个月应该检查一次连轴器螺栓的松紧情况，检查地脚螺栓的松紧度。
三个月检查工作液循环管线上的Y型过滤器，避免堵塞。
半年检查一次热交换器冷却水管线的过滤器，避免生锈腐蚀堵塞。
也就是说基本上三个月需要保养一次，维护机器的正常运作。
