真空镀膜机真空发生器就是利用正压气源产生负压的一种新型，高效，清洁，经济，小型的真空元器件，这使得在有压缩空气的地方，或在一个气动系统中同时需要正负压的地方获得负压变得十分容易和方便。真空发生器广泛应用在工业自动化中机械，电子，包装，印刷，塑料及机器人等领域.真空发生器的传统用途是真空吸盘配合，进行各种物料的吸附，搬运，尤其适合于吸附易碎，柔软，薄的非铁，非金属材料或球型物体.在这类应用中，一个共同特点是所需的抽气量小，真空度要求不高且为间歇工作。笔者认为对真空发生器的抽吸机理和影响其工作性能因素的分析研究，对正负压气路的设计和选用有着不可忽视的实际意义。

       真空镀膜机发生器的工作原理
       真空镀膜机发生器的工作原理的工作原理是利用喷管高速喷射压缩空气，在喷管出口形成射流，产生卷吸流动.在卷吸作用下，使得喷管出口周围的空气不断地被抽吸走，使吸附腔内的压力降至大气压以下，形成一定真空度。

       真空镀膜机用罗茨真空泵机组的基本参数指的是机组的抽气速率、配用功率、极限压力等。抽气速率就是组成各机组的主泵的名义抽气速率，机组的配用功率即组成该机组的所有单泵的配用功率之和，各类机组的基本参数详见下表。
      序号     机组类别     前类型     极限压力Pa     抽气速率L/s     配用功率kw
      1     二级罗茨液环真空机组     单级水环真空泵     ≤300     组成各机组的主泵的名义抽气速率     组成该机组的所有单泵的配用功率之和
      双级水环真空泵     ≤300
      单级油环真空泵     ≤100
      双级油环真空泵     ≤80
      2     二级罗茨滑阀（旋片）真空机组     单级滑阀真空泵     ≤1*10-1
      单级旋片真空泵     ≤1*10-1
      双级滑阀真空泵     ≤2*10-2
      双级旋片真空泵     ≤2*10-2
      3     二级罗茨往复真空机组     往复真空泵     ≤300
      4     二级气冷式罗茨真空机组     气冷式罗茨真空泵     ≤3000
      5     二级罗茨水环大气喷射泵机组     单级水环真空泵     ≤40
      双级水环真空泵     ≤40
      6     三级罗茨液环真空机组     单级水环真空泵     ≤40
      双级水环真空泵     ≤40
      单级油环真空泵     ≤2
      双级油环真空泵     ≤1
      7     三级罗茨滑阀（旋片）真空机组     单级滑阀真空泵     ≤2*10-2
      单级旋片真空泵     ≤2*10-2
      双级滑阀真空泵     ≤1*10-2
      双级旋片真空泵     ≤1*10-2
      8     三级罗茨往复真空机组     往复真空真空泵     ≤40
      9     三级气冷式罗茨真空机组     气冷式罗茨真空泵     ≤100
      10     三级罗茨水环大气喷射泵机组     单级水环真空泵     ≤2
      双级水环真空泵     ≤2
      11     四级罗茨液环真空机组     单级水环真空泵     ≤1
      双级水环真空泵     ≤1
      单级油环真空泵     ≤5*10-1
      双极油环真空泵     ≤5*10-1
      12     四级罗茨 往复真空机组     往复真空泵     ≤2
      13     四级罗茨滑阀（旋片）真空机组     单级滑阀真空泵     ≤1*10-2
      单级旋片真空泵     ≤1*10-2
      双级滑阀真空泵     ≤8*10-3
      双级旋片真空泵     ≤8*10-3
      *极限压力是指非可凝性气体的极限分压力