真空镀膜机PLC通常由中央处理器、存储器、输入输出（I/O）通道、定时器（T）、计数器（C）等单元组成。有时还接有打印机、CRT显示器等外部设备，并由编程器输入控制程序。PLC的结构与计算机相似，各组成部分的功能是：
①真空镀膜机中央处理器CPU.它是PLC的核心部件，它由处理器、中间变量存储器等构成，与微型计算机的CPU相似。其功能是按PLC中系统程序赋予的功能，接收并存储从编程器输入的用户程序和数据；用扫描的方式接收现场输入装置的状态和数据，并存人数据寄存器中；诊断电源、PLC内部电路工作状态和编程过程中的语法错误。在PLC运行时，从存储器中逐条读取用户程序，并按程序规定的任务，产生相应的信号，去开、关有关电路；分时、分渠道去执行数据的存取、传输、组合、比较和变换，完成用户程序中规定的逻辑控制或运算等任务；根据运算结果，更新有关标志位的状态或数据寄存器中的有关内容，实现输出控制、制表和数据通信等。
②
真空镀膜机程序存储器。其中系统程序存储器用以存放系统工程程序（监控程序）、功能子程序及管理程序。用户程序存储器用以存放控制算法系数（模拟量）及用户编制的程序。PLC用户存储器通常以字（16位/字）为单位来表示存储器的容量。在PLC产品资料中所给的存储器类型及容量，就是指用户存储器而言。由于用户存储器采用备周的锂电池供电，即使电网停电，用户存储器内的程序也不会丢失。
③
真空镀膜机输入缃出通道I/O.I/O是CPU与现场真空装置或其它外部设备之间的连接部件。PLC提供了各种用途、各种操作电平与驱动能力的I/O供用户选用。I/O具有电平转移、电气隔离、串饼行交换、数据传输、误码校验、A/D或D/A变换及其它功能控制等。
