真空镀膜机电子束加热原理及特点：真空镀膜机电子束加热蒸发源是利用热阴极发射电子在电场作用下，成为高能量密度的电子束，直接轰击到镀料上。电子束的动能转化为热能，使被料加热气化，完成蒸发镀膜。
真空镀膜机电子束加热蒸发的优点：
①镀膜机电子束加热比电阻加热具有更高的能量密度，可以蒸发高熔点材料，如W、Mo，Al2O3等，并可得到较高蒸发速率；
②被蒸发材料置于水冷铜坩埚内，可避免坩埚材料污染，可制备高纯薄膜；
③电子束蒸发粒子动能大，有利于获得致密、结合力好的膜层。
真空镀膜机电子束加热的缺点：
①结构较复杂，设备价格较昂贵；
②若
真空镀膜机蒸发源附近的蒸气密度高，真空镀膜设备电子束流和蒸气粒子之间会发生相互作用，电子的能量将散失和轨道偏移。同时引起蒸气和残余气体的激发和电离，会影响膜层质量。
