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磁控溅射真空镀膜机镀工件膜层附着力的坚持和研究

2021-06-30

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       工件镀膜膜层附着力高低,直接影响着工件的使用寿命。很多厂家给工件镀膜时,对膜层都有严格的要求,因此在采购真空镀膜机的时候,对镀膜技术的选择也是比较的慎重。下面汇成真空小编为大家介绍一下膜层附着力的研究过程,希望能帮助到大家:


真空镀膜机


      在高分子涂层上进行磁控溅射镀膜时,膜层很薄,通常为50~200nm,所以对这种较软基材上的超薄镀层附着力的测试有别于通常意义上的涂层附着力测试。对于普通的高分子涂层附着力测试,由于其厚度通常为几至几十微米,一般可采取直接将涂层剥离或其他一些标准方法测试出附着力的大小;对于硬质基材上的金属镀层,已经提出的方法有20多种,包括拉伸法、剪切法、拉倒法、打磨法等,不同的方法之间几乎不存在联系,其数据差异可达两个数量级,因此,各种方法所得的数据是不能通用的。对于高分子涂层基材上的超薄镀层附着力测试,目前国内研究报道甚少。本研究采用铝柱对粘正拉法测试超薄镀层的附着力。
       磁控溅射真空镀膜机镀膜膜层测试方法:(1) 镀层附着力测试方法镀膜后的铝柱经胶粘剂对粘后,将铝柱另一端的螺纹与材料拉伸试验机的拉伸卡头相接,通过测试对粘铝柱的拉伸强度,分两种情况来考察附着力的大小。当破坏面上没有镀层脱落时,镀层的附着力大于对粘铝柱的拉伸强度。当破坏面上有镀层脱落时,铝柱的拉伸强度近似为镀层的附着力。

磁控溅射真空镀膜机镀膜膜层测试过程:
       (1)铝柱镀膜前处理分别以400#、600#水磨砂纸将铝柱的对粘面打磨,自来水冲洗干净后放在(80±5)℃烘箱中烘干1h。将100份聚氨酯涂料用30~50份工业乙酸丁酯稀释后,刷涂于对粘面上(两个对粘的铝柱只刷一个),然后将刷涂面朝上,放入(60±5)℃的烘箱中加热1h,而后再将温度升至(80±5)℃,保温5~6h。

       (2)铝柱镀膜对铝柱的刷涂面进行磁控溅射镀膜处理,处理工艺参数为:
       镀层材料          H62
       溅射功率/kW    20~30
       溅射时间/min    2
       溅射气压/Pa     0.1~0.4
       靶基距/mm       600
 
       (3)铝柱对粘将镀好膜的铝柱马上涂胶,胶粘剂采用3个品种:不饱和聚酯腻子、单组分聚氨酯清漆和环氧树脂胶,然后以另一新铝柱与之对粘。定位压紧后先常温固化24h,再(70±5)℃加热固化6h,然后进行铝柱拉伸强度测试。