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光学镀膜机的结构及原理

2021-09-29

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      光学镀膜机可以制备各种具备光学发生的膜层,改变它们所应用的基底材料的透射率和反射率特性,如AR、 UV/IR截止滤光片、AF、电机用金属膜、硬质AR膜、增强反射膜、硬质膜、装饰膜、ITO膜 、二向色镜、带通滤光片、偏光树 脂、RGB滤光器、光触媒、HR膜等,广泛应用于数码相机、智能手机、眼镜、投影仪、光学拾波器、光通讯、LED、电子用品 、装饰用品、太阳电池、显示器等。应用领域非常广泛,跟日常高科技技术息息相关,下面汇成真空小编为大家介绍一下光学镀膜机的结构及原理:


光学镀膜机


       光学镀膜机由真空系统、蒸镀系统、冷却系统和电气系统组成,其中真空系统由真空罐和排气系统组成。真空罐是镀膜机的主体,镀膜过程就是在真空罐中完成的,通过连接阀将真空罐和排气系统相连。为了防止空气分子对溅射离子的影响、提高膜层的质量,在工作时,必须将光学元件和离子源置于真空环境中。排气系统主要由机械泵、罗茨泵和真空泵组成,负责排出真空罐内的气体、使罐内形成真空环境。蒸镀系统主要指成膜装置部分,镀膜机器的成膜装置有很多种,如电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等。
       光学镀膜机原理是通过真空溅射的方式在光学元件上涂镀薄膜, 以此改变元件对入射光线的反射率和透过率。同时,为了尽可能地减少元件表面的反射损失、提高成像质量,往往涂镀多层薄膜。光学元件镀膜后,光在多层膜层的表面进行多次反射和透射,形成多光束干涉,通过控制膜层的厚度和折射率,可以得到不同的强度分布。利用这一原理可以制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉滤光片等,以满足更加复杂的需求。