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真空镀膜机镀工件,出现膜内白雾,是什么原因?

2021-09-27

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      我们线上经常有网络客户咨询请教我们,真空镀膜机镀玻璃工件,工件内部出现膜内白雾,是什么原因造成的,因为自己试过很多办法,没办法解决,因此在线上寻求帮助。对于一个专业的真空镀膜技术工程师来说,白雾形成在膜内,他们是能快速采用排除方面,寻找到原因的,因此,专业能力技术强,还是非常有优势的。那么膜内白雾到底有哪些原因形成的呢?


真空镀膜机


      1、基片脏,附着前工程的残留物
      2、镜片表面腐蚀污染
      3、膜料与膜料之间、膜料与基片之间的不匹配。
      4、氧化物充氧不够。
      5、第一层氧化锆膜料,可能对某些基片产生白晕现象
      6、基片进罩前(洗净后)受潮气污染
      7、洗净或擦拭不良,洗净痕迹、擦拭痕迹
      8、真空室脏、水气过重
      9、环境湿度大

      真空镀膜机镀工件玻璃出现膜内白雾,改善思路:基片本身的问题可能是主要的,镀膜是尽量弥补,镀膜本身最大的可能是膜料匹配问题。
      改善对策:
      1、改进膜系,第一层不用氧化锆。
      2、尽量减少真空室开门时间,罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备工作。
      3、真空室在更换护板、清洁后,最好能空罩抽真空烘烤一下,更换的护板等真空室部件必须干燥、干净。
      4、改善环境
      5、妥善保护进罩前在伞片上的镜片,免受污染。
      6、改善洗净、擦拭效果。
      7、改善膜匹配(考虑第一层用Al2O3)
      8、改善膜充氧和蒸发速率(降低)
      9、加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。
      10、抛光加工完成的光面,必须立即清洁干净,不能有抛光粉或其他杂质附着干结。