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磁控溅射真空镀膜机系统的组成

2022-09-15

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       磁控溅射真空镀膜机有很多部件组成,每个部件都有自己的独到的用处,缺一不可。磁控溅射真空镀膜机分别由真空系统、传统系统、加热系统、冷却系统、工艺布气系统、磁控溅射系统。下面汇成真空为大家大概介绍一下磁控溅射真空镀膜机几个小部件用处,希望能帮助到大家:


磁控溅射真空镀膜机


       真空系统:真空系统设备集中于真空室区域,由抽气设备(机械泵、罗茨泵、分子泵),检测设备(电阻规、电离规、薄膜规),安全阀(腔体门阀、分子泵挡板阀、旋片泵罗茨泵间自吸阀、管道阀和破空阀);通过旋片泵>罗茨泵>分子泵接力抽气,将腔室内压力由大气变为真空,并在生产过程中保持适合生产的真空环境。
       旋片真空泵的工作原理,旋片泵要由定子、转子、旋片、定盖、弹簧等零件组成。其结构是利用装在钉子腔内偏心转子(转子的外圆与定子的内表面相切两者之间的间隙非常小)和转子槽内滑动的借助弹簧张力和离心力紧贴在定子内壁的两块旋片,当转子旋片时,始终沿定子的内壁滑动。
       在热偶真空规中,在作为热丝的Pt丝中通过恒定强度的电流,在达到热平衡以后,电流提供的加热功率与通过空间热辐射,金属热传导以及气体分子热传导而损失的功率相等,因而热丝的温度将随着真空度的不同而呈现有规律的变化。
       皮拉尼规有称为热阻式真空规,其工作原理与热偶真空规相似,皮拉尼以电桥的方式,通过测量热丝的电阻随温度的变化来实现对真空度的测量。经常与热偶真空规结合使用的高真空规称为电离真空规,它是在高真空范围内最常使用的测量工具。
       真空薄膜式真空规是一种依靠金属薄膜在气体压力差作用下产生机械位移,从而可用于气体绝对压力测量,测量结果与气体种类无关的真空规。
薄膜真空规有两个被隔离的真空腔,当一个真空腔内的压力为已知,另一个真空腔的压力为未知的情况下,薄膜的移位量将与两个腔内的压力差成正比,为了提高测量的准确度,薄膜位移是靠测量薄膜与另一个金属电极间的电容的变化来实现的。
在很大的量程范围内,薄膜真空规都具有很好的线性度,其探测下限约为10-3pa,这相当于探测到的薄膜位移只有一个原子尺度大小。
       磁控溅射真空镀膜机传动系统:传统系统共24台驱动电机,上下片平台各4台,工艺区11台,回传区5台传动电机,除上下片平台各有2台电机可实现双向传动外,其余电极钧为单向传动;