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真空镀膜设备的维修及保养方法

2022-11-23

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       真空镀膜设备在使用过程中,维修保养必少不了,也是各工程师必须要掌握的问题,因为日常设备维护保养得当,能增加设备的使用寿命,从而降低成本,提高产能。下面汇成真空小编为大家详细介绍一下真空镀膜设备维护保养方法,希望能帮助到大家:


真空镀膜设备


      1、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。
方法:用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。
      2、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。
方法:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。
      3、在重新开机前,要注意检漏。
扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。
      方法:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,真空镀膜设备无法进入工作状态。
       真空镀膜设备应用领域非常广泛,因此真空镀膜设备型号也是非常的齐全,作为真空镀膜设备的生产厂家,设备维护保养程序一定是要到位的,缺一不可。