光学镀膜机由真空系统,蒸镀系统,冷却系统和电气系统组成，其中真空系统由真空腔体和排气系统组成。真空腔体是镀膜机的主体，镀膜过程就是在真空罐中完成的，通过连接阀将真空腔体和排气系统相连。
为了防止空气分子对溅射离子的影响、提高膜层的质量，在工作时，必须将光学元件和离子源置于真空环境中。
排气系统主要由机械泵、罗茨泵和真空泵组成，负责排出真空罐内的气体、使罐内形成真空环境。
蒸镀系统主要指成膜装置部分，镀膜机器的成膜装置有很多种，如电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等。
光学镀膜机数据精密性比较高的真空镀膜机，常镀镜片、手机屏幕、摄像头、HUD，激光雷达，手机后盖，应用广泛，技术高端，随着生活质量不断提升，应用领域越来越广泛。
