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高精密电子束蒸发镀膜机介绍

2023-10-09

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      高精密电子束蒸发镀膜机是在高真空条件下,采用电子书轰击材料加热蒸发的方法,在衬底上镀制各种金属,氧化物、导电薄膜、光学薄膜、半导体薄膜、导电薄膜、光学薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬膜等,可镀制混合物单层膜、多层膜或掺杂膜,可镀各种高熔点材料。


高精密电子束蒸发镀膜机


     在玻璃/PC/PMMA基片上形成高精度光学多层薄膜的精密真空镀膜机;将满足客户需求的多种元件组合在一起,可以形成品质更加优良的薄膜;基片伞架采用中心旋转方式(公转),减少产生振动和颗粒,使基片能够稳定旋转。
    采用坩埚上没有极片的电子束加热方式作为蒸发源,可以稳定地形成多层膜;采用本公司独有的比率控制法和多点在线监控,可以形成高精度且稳定的光学多层膜;可利用操作性良好的升降机来取出基片伞架。
      使用均匀分布的高离子电流密度的离子源,搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上,利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程,工件架可选择钟罩式或行星式。
      AR 膜(基材玻璃透过率>91.5%):1、420-680nm波段,单面平均透过率>95%,反射率小于0.5(平均值)% ;2、双面平均透过率>98%,反射率小于0.5(平均值)%;
       AS/AF膜测试标准:1、初始接触角范围为 115±5°;2、钢丝绒耐摩擦测试标准:用 0000#钢丝绒,面积为 10*10mm,行程 40 次/分,负载1Kg,5000 次往返摩擦后,接触角大于 100°;3、 橡皮擦测试标准: 直径 6mm 橡皮擦,行程 25 次/分,负载1Kg, 2500 次往返摩擦后,接触角大于 100°;
备注:测试样片玻璃需为经过精密抛光过的触摸屏盖板专用玻璃,表面光洁。
      高精密电子束蒸发镀膜机优势有三点:提高沉积速率以实现更高产量,在半导体,光电和光子学领域实现高精度工艺,坚固耐用且易于维护