镀膜线解决方案

Solution
滤光镜方案
客户群体

干涉光学应用领域及相关配套生产厂商、PVD镀膜加工企业

项目方案

为企业提供PVD镀膜设备和镀膜工艺技术

针对干涉光学应用领域行业产品的特点和不断增长的客户需求,不断开发出多种设备技术和镀膜工艺

Solutions and advantages.

解决方案及优势

很多现代检测方法以及大多数电信工业都 建立在光学技术基础上。这些应用中,光学滤镜需要将特定的波长从光束中过滤掉(陷波滤光片), 只允许指定位置的光谱带通过(带通滤光片)或者将特定波长光的反射转换成透射(截止滤光片)。具有高低不同折射率的薄膜介电层依次叠加制作而成的干涉光学膜组被用作光学滤镜。

汇成真空针对光学精密滤镜开发的磁控溅射生产线,其设计用于在平面基材上制备光学滤镜。作为精密滤镜,其吸收光谱剖面须具备典型深沟槽和低散射率的特性并能够重复产出。从技术角度讲,这意味着:50、100或者更多层的薄膜将被制备并叠加到一起并且每层的膜厚都要被精确控制,最终沉积到基片上的整体膜组厚度非均匀性小于+/- 1 %。工艺过程中应排除光学相关杂质,而且设备应当具备工艺配方全自动处理以及高产出能力。

recommended equipment.

推荐设备

Project site.

项目现场

镀膜现场

镀膜现场

镀膜现场

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