今天汇成真空小编为大家详细介绍一下真空PVD镀膜机镀膜工艺操作步骤，它的先后顺序是怎样的，有那些细节和原理是必须要了解的。

       首先在处理工艺前，需要褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹。镀膜工艺，抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉。后处理工艺：首先清洗环节，确保PVD镀膜机镀膜前产品表面的清洁，越新鲜的表面，越能保证镀膜质量；然后再抽真空将真空室内的残余气体抽走。接下来加热烘烤，炉体和工件同时加热，加速残余气体的释放。压升率测试，测试炉体的漏气率和放气率。轰击清洗，去除工件表面的杂志，露出新鲜表面。镀膜，沉积膜层。冷却，避免工件氧化变色。为什么要进行冷却，镀膜工艺完成后，真空室内温度高达500℃，如果不冷却就放气，没有被镀上膜的高温工件表面会因为与空气反应氧化变成蓝色。

 

冷却如何进行？
      1. 高阀关闭，真空计关闭，真空室与泵组隔离；
      2. 当操作人员按下N2 vent按钮，预先接好的氮气会通过N2充气阀充入真空室，当真空室内的压力达到压力开关预设的压力时，N2充气阀关闭。
      3. 真空室内充入了大量N2，真空度很低，更加有利于热传导，所以降温速度比不充冷却N2时快很多，缩短冷却时间，提高生产效率，实际冷却时间可由原来的90分钟缩短为60分钟。
      4. 由于氦气的热传导率更高，所以充入冷却氦气比氮气降温速度更快，但是成本也更高。
      5. 国外设备快速冷却程序，通过冷却气体的循环冷却，能缩短冷却时间50%。
为什么要进行压升率测试？
        真空环境条件是影响最终涂层质量最重要的因素。镀膜前，必须进行压升率测试，以保证真空环境条件满足镀膜标准。
怎样进行压升率测试？
      在我们的自动镀膜工艺中，压升率测试是自动进行。当真空室内真空度达到工艺设定的本底真空后，进入压升率测试步骤。  
      系统会自动关闭高阀，此时真空室与泵组隔离，真空室内压力会升高。在一定时间内（一般1分钟），如果压力不超过设定的报警值，系统会自动进行下一步程序，进入镀膜步骤。如果压力超过设定的报警值，系统会有报警提示，此时，操作人员应按照操作流程，再次进行抽真空和加热烘烤，然后重复进行压升率测试，直至压升率满足pvd镀膜机镀膜条件。