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功能涂层设备
汇成在PMA I 专利技术的基础上,开发出PMA II 和EFC专利技术,并成功的将PMA II 和EFC技术集成到新一代涂层系统上。该系统具有灵活的配置,可以与ARC、MS、HIPIMS等技术组合使用,为新涂层,新材料的开发提供更多的可能性,为刀具涂层、模具涂层、零部件涂层、DLC涂层、GLC涂层、ta-c涂层等提供完整的涂层方案。
DLC涂层设备制备的DLC涂层(类金刚石涂层),具备质量稳定,与基体结合力好,耐磨性好,摩擦系数低,耐腐蚀性好等综合优良性能。广泛应用于发动机零部件,有色金属切削刀具,有色金属及不锈钢等成型冲压模具,滑动密封部件,半导体行业模具,注塑模具,纺织行业等。
HiPIMS-800结合了经典直流溅射镀膜系统的所有优点和最新的HiPIMS技术的能力。该系统共配备六个溅射阴极,其中四个可以在HIPIMS或DC模式下工作。另外两个直流阴极可以操作,例如,提供更复杂的多层涂层,提供颜色和顶层涂层,或只是增加沉积速率。这些技术在一个过程中的绝对自由组合,以非常低的生产成本提供了有限的涂层设计范围。