功率器件

功率器件方案

功率器件及相关配套生产厂商、PVD镀膜加工企业

为企业提供PVD镀膜设备和镀膜工艺技术

针对半导体行业产品的特点和不断增长的客户需求，不断开发出多种设备技术和镀膜工艺

我们提供电子设备的制造技术解决方案。

碳化硅SiC工艺流程：PN（离子注入/碳电池溅射）——栅（蚀刻/灰化）——电极（蒸发/溅射/蚀刻/灰化）

硅Si工艺流程：正面PN（离子注入）——栅发射极（溅射/蒸发）——背面PN（离子注入）——采集器（溅射/蒸发）