超厚多元合金涂层和超厚氮化物涂层，连续沉积多元合金涂层厚度可达120um以上，实现单靶三维旋转≥6.5um/h，连续沉积氮化物涂层25um以上，实现单靶三维旋转≥3um/h，提高了工件表面的硬度，为航空发动机叶片修复、汽轮机叶片边缘的冲蚀问题提供了新的解决方案。
功能涂层设备应用
超厚多元合金涂层和超厚氮化物涂层，连续沉积多元合金涂层厚度可达120um以上，实现单靶三维旋转≥6.5um/h，连续沉积氮化物涂层25um以上，实现单靶三维旋转≥3um/h，提高了工件表面的硬度，为航空发动机叶片修复、汽轮机叶片边缘的冲蚀问题提供了新的解决方案。
HCVAC-PVD
