ZnO氧化锌基薄膜的研究进展迅速，材料性能已可与ITO相比拟，结构为六方纤锌矿型。其中铝掺杂的氧化锌薄膜AZO研究较为广泛，它的突出优势是原料易得，制造成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且在等离子体中稳定性好，很快成为新型的光伏TCO产品。

氧化锌（ZnO）材料资源丰富，且作为透明电极的性能优越，因此作为使用稀有金属的平板用ITO（掺Sn氧化铟）膜的替代材料受到广泛的关注。另外，氧化锌在透明性和表面平坦性方面具有比ITO更为优越的特性，可望拓展新的应用，本公司采用溅射法，可支持GZO（掺Ga ZnO）和AZO（掺Al ZnO）的成膜。